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Q402

太陽能與光電元件實驗室
多孔矽材料可經由電化學陽極化蝕刻法在矽基板上形成,由於它具有高強度可見光的發光特性與絕佳的吸光響應特性,所以很早就已經吸引許多人對這材料應用於光電元件的興趣。多孔矽可以說是一種”多才多藝”的半導體材料,它在元件上的多樣化應用基本上可分為五大類 :(1)光電元件之應用,包括發光二極體、光偵測器、太陽電池、光子晶體、光波導管、光學邏輯閘(2)微電子應用,包括冷陰極電子發射器、 積體電路中之絕緣技術、異質磊晶成長;(3)感測器與制動器之應用, 包括微機電技術應用;(4)化學感測器之應用,包括電性(如導電度、電容的變化)與光學性如光激發光抑制效應之感測器;(5)生物技術之應用,如生物感測器。在這些眾多的應用研究中,以利用多孔矽之可調變的光電與光學特性來開發先進新穎的矽基光電元件最為熱門與廣泛。